半导体芯片加工废水处理案例|半导体芯片加工废水处理方法
工程游戏 背景
该产业的发展园积聚了十余家半导体器件相应的公司企业主主,规划日补救技能5000吨,须要补救来源不一公司企业主主的混合式废液。因此各公司企业主主生产方式制作工艺差异化大,废液含量更复杂多样,补救难度系数较高。
工业废水组成及來源
废污水重点比如四大类:高巧妙废气氧化还原电位巧妙废污水(光刻胶、定影液等)、含氟废污水(刻蚀工步)和强酸强碱废污水(难以清理工步)。特别的组成比如异丙醇、四甲基氢阳极氧化铵等难化学降解巧妙物,已经氟化物、高锰酸盐指数等有机物危害物。废污水COD下降大(500-3000mg/L),氟化物巧妙废气氧化还原电位100-500mg/L,高锰酸盐指数50-150mg/L。
除理的工艺环节
使用"各类搜集+分质治理+集中式宽度治理"的企业创新策略:
企业的内控类型预处置:含氟废液专门整理征集并预处置
该项目污水管等等级分类输料设备
整体调理池均衡性水的硬度
两极水泥混凝土积累的还原悬屏物和胶体溶液
高效性菌物的植物细胞培养(HBR)办理有机会弄脏物
三氧催化腐蚀腐蚀挥发难分解的有机的物
反加入整体确定脱盐加工处理
紫外光线清洗加强组织领导喷水安全性高
特别的制定了免费在线监控体系和自主投加体系,规避水的质量变化。
终结成果
系統运动六年来,治疗功效比较稳定安全可靠。出水出水COD<30mg/L,氟化物<3mg/L,氧化还原电位<5mg/L,总氮<15mg/L,符合地下水Ⅳ类基准,个部分中水运行于居民小区绿化植物及方形冷却塔塔补充水分,中水运行率不低于30%。第二年以减少最新鲜水运行约70万吨,为居民小区商家节约有水费数十万上万元。