半导体芯片加工废水怎么处理|半导体芯片加工废水如何处理
項目蓝本
该半导体行业行业应用于长半圆省市,具体的生产制造8英尺和12英尺晶圆,日释放废发电量约2000吨。可能的生产制造流程比较复杂,废水内包含有很多种难可降解有机酸物和天价属阳离子,一般治疗方式方法不易达到必将严要求的释放细则。
废气材料及主要来源
污水通常特征于十二个的环节:晶圆水刀割切污水具有刺激性过量硅粉和水刀割切液残余物;物理化学机械制造抛光处理污水蕴含固体硅和打磨颗粒肥料;刻蚀洗涤污水具有刺激性氟化物、铜阴阳离子等巨资属;光刻流程污水则具有刺激性光阻剂等有机物被污染物质。水污染特征是COD高(800-1500mg/L)、氟化物含量高(200-400mg/L)、悬停物多且具有刺激性轻微巨资属。
外理工序环节
所采用"物理化学预治理+生化学治理+深层治理"的组装工序:
转换池平衡水源的水量
水泥混凝土奠定快速清理自动隐藏物和电解质溶液物质
生物学凝固法专门针对加工氟化物,加药系统钙盐生成氟化钙凝固
溶解过酸池不断提高工业废水可什么是生化性
接触性阳极氧化池化学降解设计环境破坏物
几丁质酶炭物理吸附塔实施广度补救
膜剥离 体统保障冒水水质监测不稳定性
对於含铜废水处理工艺单个布置阴阳离子交易设备,收购 有使用价值的金属件铜。
结果英文体验
创业项目建设成后启用安全,水流COD<50mg/L,氟化物质量氨水浓度<5mg/L,铜铝离子质量氨水浓度<0.3mg/L,四项完成指标均相对比较发展中国家《电子元器件工業水区域环境空气污染物直接排放物口标淮》(GB 39731-2020)。第年可提高COD直接排放物口约300吨,氟化物直接排放物口约50吨,回收公司铜金属材质约2吨,推动了区域环境效果与经济增长效果的合作共赢。