某光电器件基带芯片制作厂在晶圆加工生产环节中,使用的硅烷完成硅外延性繁殖,废气排放洗滌塔经常出现高氨水浓度含硅废气。废气极具pH下跌大(2-11)、硅的含量高的优势,传统化解决的方法易经常出现硅垢堵住毛病。
废污水组成及來源
废污水最主要的成分表为:
可溶性高,溶于水的性硅酸盐
:SiO₂浓硫酸浓度达1000-1500mg/L
硝酸钠/氢被氧化钠
:洗洁塔碱酸洗洁液存留
颗粒肥料硅
:纳米技术级SiO₂固体
痕量砷
:主料沉渣进入
加工处理鑫霖环保流量
自主创新所采用"二级结合+膜脱水+蒸馏沉淀"方法:
特一级中合
:用CaO可以调节pH至4-5,出现硅酸钙沉垫,硅去掉率60%。
二级考试与
:加Na₂CO₃将pH加快至9,进步骤水解剩余时间硅,电容串联用镁剂除砷。
反渗透装置体系
:0.02μm陶瓷厂家膜过滤水微米级硅颗粒肥料,通量比较稳定在80LMH。
MVR化掉器
:浓缩造成高盐废水处理方法,结晶体出Na₂SO₄副物料,水使用率超90%。
之后结果
总硅从1500mg/L低于5mg/L这
砷分子量从0.8mg/L降落到0.01mg/L
体系无结渣运动突破2年
第一年回收处理硝酸钠钠结晶约800吨