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硅烷废水处理案例|硅烷废水处理方法

某光电器件基带芯片制作厂在晶圆加工生产环节中,使用的硅烷完成硅外延性繁殖,废气排放洗滌塔经常出现高氨水浓度含硅废气。废气极具pH下跌大(2-11)、硅的含量高的优势,传统化解决的方法易经常出现硅垢堵住毛病。 废污水组成及來源 废污水最主要的成分表为: 可溶性高,溶于水的性硅酸盐 :SiO₂浓硫酸浓度达1000-1500mg/L 硝酸钠/氢被氧化钠 :洗洁塔碱酸洗洁液存留 颗粒肥料硅 :纳米技术级SiO₂固体 痕量砷 :主料沉渣进入 加工处理鑫霖环保流量 自主创新所采用"二级结合+膜脱水+蒸馏沉淀"方法: 特一级中合 :用CaO可以调节pH至4-5,出现硅酸钙沉垫,硅去掉率60%。 二级考试与 :加Na₂CO₃将pH加快至9,进步骤水解剩余时间硅,电容串联用镁剂除砷。 反渗透装置体系 :0.02μm陶瓷厂家膜过滤水微米级硅颗粒肥料,通量比较稳定在80LMH。 MVR化掉器 :浓缩造成高盐废水处理方法,结晶体出Na₂SO₄副物料,水使用率超90%。 之后结果 总硅从1500mg/L低于5mg/L这 砷分子量从0.8mg/L降落到0.01mg/L 体系无结渣运动突破2年 第一年回收处理硝酸钠钠结晶约800吨

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