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硅片清洗废水处理案例|硅片清洗废水处理方法

该厂为8厘米晶圆分娩线匹配的超纯净水操作系统,每天都在造成含硅污废水 150吨。污废水 中虽无高价属,但硅成分高易水垢,且热敏电阻率需达到18MΩ·cm可以循环。已有加工处理工学院艺没办法够满足新颁布实施的《电子无线企业水造成的废水废气标》(GB39731-2020)非常废气最大限度。 工业废水组分特色 首要废弃物物 :电解质溶液硅(200-300mg/L)、顆粒硅(粒度0.1-1μm) 比较特殊要 :TOC<10μg/L,硼的含量<5μg/L 土质优点 :低电阻率(<50μS/cm)但硅单质姿态繁琐 加工处理加工程序流程 的创新选择"梯级膜分开+电去阴离子"组成工艺设备: 微滤预备处理 :1μm工业陶瓷膜拦阻大颗粒肥料硅,通量保护80LMH 阳离子置换聚酯树脂 :D201大孔环氧树脂考虑性气体吸附硅酸分子结构 特殊RO系統 :1段收废率60%,第2段适用高脱硼膜开关元件 EDI电去亚铁离子 :功率密度计算2A/m²,保持出掉稳定度铁离子 紫外线除菌 :254nm紫外光线分子量40mJ/cm² 技术应用亮点纷呈 开发建设专属阻硅剂(有机化学胺类复合材料物),廷迟膜造成的污染定期3倍 EDI控制器企业创新流道构思,硅去掉率提高了至99.8% 在线免费硅讲解仪(在测量比率0.1-500μg/L)保证 准确有效控制 启动实效 经三是方检则: 总硅从280mg/L降下来0.05mg/L 硼水分含量从8μg/L降下来0.3μg/L 系统收购 率从原40%提拔至68% 膜换周期公式延迟至5年,年工作成本低下降35%

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