该晶圆创造厂隶属于西北东南部,通常种植8寸大半导体器件晶圆,单日生活污水的排放口量约800吨。致使种植历程中选择更多盐酸采取晶圆蚀刻,产生生活污硫酸铜溶液氟化物浓硫酸浓度可高达200-300mg/L,远超国家的的排放口原则(10mg/L如下)。
污废水 物质及来原
工业废水主要来自五湖四海这几个步骤:
晶圆蚀刻工艺技术
:含ab剂值氟化物(HF)、硝酸钠及小量巨资属
化学物质机械性拋光(CMP)焦化废水
:含納米级硅颗料、无机络合剂
生产设备清晰废渣
:含异丙醇、挥发酚等有机会物
净化处理艺操作流程
用"物理发展+沥青混凝土发展+长度滤水"两级除理程序:
三级整理
:添加氯化钙和氢氧化物钙,养成氟化钙发展,氟化物清理率达85%
二次元治疗
:加入PAC(聚合反应氯化铝)和PAM(聚炳烯酰胺),避开悬浊液态造成的污染
三级职业资格证书处里
:根据多媒介过滤程序器和活力炭溶解,出水出水氟化物浓硫酸浓度比较稳定在8mg/L一下
至关重要设施涵盖:pH自己调理系统化、斜管水解池、板框压滤(污泥干化缺水)。
决定特效
内容正常运作一年监测器动态数据表明:
氟化物峰值渗透压:7.2mg/L(如果低于一个国家规范)
COD避开率:92%
工业废水含水量率:≤65%
年回收公司氟化钙副好产品约150吨,改变资原化用