某半导体设备厂在出产环节中在使用硝酸铵系成像液，诞生高氧浓度含NOx废液，日加工量50吨。废液中含NO2-超过2000mg/L，且包含的少量生产光刻胶材质，加工难易度很大的。 2. 生产废水组成及来历 成像制作工序废水（大部分水污染物来源） 晶圆擦拭废气 有机废气清洗塔落水管 3. 净化处理艺方法 应用"高阶脱色+多级生物体处理"去创新施工工艺： 嗅氧空气氧化 ：按照嗅氧发生的器生产O3，将难溶解无机物降解为小氧分子材料，时将NO2-脱色为NO3-。 生态学膜表现器（MBR） ： 首先级：环世界周围环境下加药甲醇作为一个碳源，力促反反硝化细菌反映 然后级：好氧海洋生物膜进步骤可降解生物碳物 电催化强度外理 ：使用钛基涂覆参比电极，按照电解抛光的作用全面分解掉残渣污染破坏物。 4. 结果英文目的 NOx总氮下降8mg/L以上 COD不稳在30mg/L左右 焦化废水工业废水处理率达60% 整体运动热耗掌握在3.5kWh/吨水，较民俗工艺设备节能公司20%。