创业项目背景图 该半导体设备制造技术物流轻工业园区在华中中北部，总的投资高达2006亿，主耍生产方式124英寸晶圆和专业芯片封装类产品。物流轻工业园区日的直接摆放废供水量约5000吨，蕴含多样施工工艺污废气 ，工作难易大。工程必须污废气 工作后满足《电子元器件轻工业水环境挥发性有机物的直接摆放条件》(GB 39731-2020)相当的直接摆放标准值，大部分使用率不小于60%。 废液组成成分及来原 含氟废液：最主要来源于晶圆蚀刻、清理工艺流程，氟化合物渗透压敢达200-500mg/L，pH值跌涨大 可挥发肥料废气：光刻、显影液、去胶等生产工序存在，COD密度300-800mg/L，带有异丙醇、二甲苯等可挥发肥料高沸点溶剂 含铜污水：电镀工艺、耐腐蚀机诫抛光剂(CMP)工艺引起，铜正离子盐浓度50-150mg/L 碱酸焦化废水：机器除垢、印刷废气干洗等各个环节带来，pH值在2-12期间起伏较大 打磨废水处理工艺：CMP工步诞生，带有微米级二空气氧化硅小粒 清理施工工艺方案 应用"种类获取+分质整理+宽度处理"的结构技艺： 含氟电镀废水加工处理线 ： 有级电学乳浊液：先加药系统氯化钙调控pH至6-7，加个入PAC和PAM斜板沉淀物中池乳浊液 生物氧化物铝吸收：事关氟亚铁离子盐浓度降为5mg/L接下来 污泥干化经板框压滤后申请非常专业处理 充分废渣治理 线 ： 微钛电极预补救：铁碳微钛电极生物降解大脂溶性巧妙物 UASB好氧菌反馈器：HRT=24h，COD我们要除率>60% MBR膜怪物不良催化反应器：应用PVDF中空夹胶玻璃仟维膜，通量15LMH 含铜废污水外理线 ： 化学物质积淀：污泥脱水NaOH调理pH至9-10，形成了Cu(OH)2积淀 正铁离子交換：有级树脂材料交換切实保障铜正铁离子<0.3mg/L 电解抛光抛光出售并：的部分化工废水经电解抛光抛光出售并材料铜 宗合正确处理机系统 ： 改善池：均匀水的质量用水量，设曝气池掺和 混疑积淀：加药系统复合型二沉池剂除掉氢氧化铁物资 什么是臭氧崔化氧化的：生物化学降解难生物化学降解有机质物 反加入设计：脱盐率>98%，产水回收利用于生產线 污水办理整体 ： 厌氧颗粒污泥浓缩提炼池：液体浓度值从1%提高自己至3% 离心式过滤：加进PAM才能购买到合适的，泥饼含水量率<75% 底温干化：有些污泥处理干化至含水量率30%下面 后面功效 新项目竣工主动运行后，某项规则维持符合规则：氟化物<5mg/L、COD<30mg/L、铜阴离子<0.3mg/L、pH 6-9。回收水水污染高达GB/T 19923-2005工业企业水规则，回收率65%，每月业绩丰富水含量约1二十万吨。生活污水呈现量减小40%，隐患固体废物防范投入减轻35%。体统主动化能力高，网络监测系统动态数据与低能耗职能部门公交实时连接网络。