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半导体晶圆划片废水怎么处理方法|半导体晶圆划片废水处理案例

投资项目后台 该单位为高度精英型的半导体设备首测单位,处于珠江三角形省市,关键来进行舒适存储芯片的片区和封裝测式。犹豫本土环保节能让严格执行,单位决定了施实废污水零摆放公程。创业项目于202四年启动服务器,202四年6月竣工投运,净化处理范围为200吨/日,总投资的约2000W。 污水成份及来原 这项为的片区污废水 兼备一下性能: 高密度氟化物,包括来晶圆切后的刷洗工艺技术,氟阴阳离子密度可以达到150-200mg/L 有效纳米技术级硅粉颗粒肥料,颗粒直径多在100-500nm区间内 有机会载荷较高,COD在500-800mg/L 所含氢化物发生器血本属如铅、镉等 导电率高,大部分在2000-3000μS/cm 办理工艺设备过程 为做到零释放的目标,加工设计方案重点注重污废水 归类环保再生再生资源利用和资源的环保再生再生资源: 污废水 的分类搜集软件系统 :将含氟生产废水处理与某些生产废水处理隔开采集 物理化学沉垫除氟 :选择多级钙盐沉垫法,协助高沉垫池 中高级脱色处里 :活性氧催化阳极氧化阳极氧化挥发难操作有机会物 膜精提整体 :选用DTRO碟管式反渗入,浓缩液度数为10倍 汽化凝结 :MVR机制水蒸汽再压缩的蒸发掉器加工处理浓水 皮肤干燥设计 :将沉淀盐低温干燥后作企业副成品外售 加工成果 系统软件开机运行信息表示: 氟化物弄掉率>99.9%,留水氟阴离子<1mg/L COD总祛除率>98%,留水COD<20mg/L 水教育资源回收处理率>95%,仅制造一少部分成果盐 去年可收旧高品控循环水约3万吨 析出盐色度起到工業级标准规范,完成教育秸秆综合巧用巧用 创业项目不单推动了废污水零减排,还实现资源的回收公司制造了约80上万元/年的附加投资收益。

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