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半导体加工废水处理案例|半导体加工废水处理方法

新项目蓝本 该半导体技术材料公司处在长半圆的地区,重要的制作8英尺和12英尺晶圆,日直接排污废供水量约2000吨。考虑到半导体技术材料的制作加工复杂的,废气操作工艺材质丰富多彩且内含种难分解成分,公司原始操作设施设备不能需要满足渐趋严格规范的节能环保直接排污规范,故投资的2亿元新健技术专业废气操作工艺操作站。 污水部分及特征 该企业的污水核心主要包括八类: 含氟废渣:来历于晶圆蚀刻、清晰工作,氟正离子酸度将高达2000mg/L; 充分酸废污水:存在光刻、成像等加工制作工艺 ,含有异丙醇、甲苯等充分酸液体,COD值在5000mg/L范围; 耐酸碱废水整理:存在于洗涤和单单从表面整理基本原则,pH值价格波动大; 含铜废渣:来自于化学镀和金屬化工品艺,铜化合物酸度约150mg/L。 进行处理工艺环节环节 重要性不相同化学性质的生活污水,选用"种类提取+分质加工+末梢程度加工"的组和加工制作工艺 : 含氟工业废水补救线: 二级生物学石雕文化奠定:先加药氯化钙调试pH至6-7,另加入PAC和PAM水解酸化池石雕文化奠定; 抗逆性硫化铝过滤:确保安全氟阳离子溶度减少为8mg/L下面的。 生产污废水 净化处理线: 微电解设备化学反应:铁碳活性炭过滤器床预净化处理提高了废渣可生化学性; UASB厌氧发酵发应器:HRT=24h,COD清除率65%; MBR膜菌物化学反应器:用PVDF空心化学纤维膜,出水量COD<50mg/L。 腐蚀性废气结合系统化: 手动pH改善:在免费在线探测仪管理加酸加碱量; 斜管石雕文化沉淀池石雕文化沉淀:删去与生产的浮窗物。 含铜化工废水处置: 催化积淀:污泥脱水NaOH调结pH至9-10,造成氢防氧化铜积淀; 阴阴阳离子互转:保证铜阴阴阳离子有机废气浓度<0.3mg/L。 强度治理第一单元: 臭氧杀菌催化剂的作用空气氧化:进两步光降解难细化无机物; 几丁质酶炭过虑:我们要除饱和度和进样器水有害物质; 太阳光的红外光线线消毒剂:抓实冒水微菌物质量指标达到。 后面成效 工程启动后,出水出水水源保持稳定提升《电子器件化工水污染问题物尾气的减排物请求》(GB 39731-2020)有点尾气的减排物卫生防护距离请求,至少氟化物<5mg/L、COD<30mg/L、铜<0.3mg/L。年可下降氟化物尾气的减排物约120吨,COD尾气的减排物约400吨,回收并水資源约5万吨。操作系统自动的化程度上高,启动成本预算把控好在8.5元/吨水之间。

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